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刻蝕

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刻蝕是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程,主要對(duì)各種薄膜以及體硅進(jìn)行加工,通常有濕法腐蝕工藝和干法刻蝕工藝,薄膜的濕法腐蝕技術(shù)對(duì)襯底具有高的選擇比,一般是各向同性的腐蝕方式,硅的KOH濕法腐蝕技術(shù)是各向異性的。含光掌握多種刻蝕工藝,針對(duì)不同的材料選用不同的設(shè)備和配方,為客戶定制化設(shè)計(jì)刻蝕效果好日性價(jià)比高的刻蝕解決方案。
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刻蝕是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程,主要對(duì)各種薄膜以及體硅進(jìn)行加工,通常有濕法腐蝕工藝和干法刻蝕工藝,薄膜的濕法腐蝕技術(shù)對(duì)襯底具有高的選擇比,一般是各向同性的腐蝕方式,硅的KOH濕法腐蝕技術(shù)是各向異性的。含光掌握多種刻蝕工藝,針對(duì)不同的材料選用不同的設(shè)備和配方,為客戶定制化設(shè)計(jì)刻蝕效果好日性價(jià)比高的刻蝕解決方案。
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